2011-№4(33) Статья 13
И.А. Зельцер, Е.Н. Моос
Аппаратурные и методические аспекты структурно-чувствительной спектроскопииповерхности конденсированных сред и наноструктур с помощью стоячих рентгеновских волн (часть 1). C. 144-167
УДК 592:539.2:537.533.2
Рассмотрены современные проблемы развития структурно чувствительной диагностики поверхности твердых тел под действием рентгеновского зонда в режиме стоячих волн, дан обзорный анализ базовых идей, лежащих в основе этого метода, описана техника стоячих рентгеновских волн, в том числе дифракционный рентгеновский фотоэлектронный спектрометр. Предлагаются новые методики исследования полупроводниковых состояний, включая аспекты предпороговых возбуждений, сопровождающихся электронной эмиссией под действием непрерывного резонансного комбинационного рассеяния.
структурно-чувствительная спектроскопия, стоячие рентгеновские волны), ион, элек-трон, вакуум, эмиссия, атомные частицы, рентгеновская дифрактометрия, синхротронный источник, оже-электроны.
Библиография:
1. Александров, П.А. Установка для исследования внешнего фотоэффекта при дифракции рентгеновских лучей [Текст]/ П.А. Александров [и др.]// Приборы и техника эксперимента. – 1986. – № 1. – С. 198–201.
2. Гравшин, Ю.М. Дифракционный рентгеновский фотоэлектронный спектрометр [Текст]/ Ю.М. Гравшин [и др.]// Электронная промышленность. – 1989. – Вып. 4. –С. 23–25.
3. Гравшин, Ю.М. Рентгеновский автоматизированный пьезогониометр, управляемый ЭВМ [Текст]/ Ю.М. Гравшин [и др.]// Электронная промышленность. – 1989. –Вып. 4. – С. 25–27
4. Зашквара, В.В. Электронно-оптические свойства электростатического сферического зеркала и систем на его основе [Текст]/ В.В. Зашквара, Л.С. Юрчак, А.Ф. Былинкин// Журнал технической физики. – 1988. –Т. 58.– Вып. 10. – С. 2010–2020.
5. Зельцер, И.А. Дифракционный рентгеновский фотоэлектронный спектрометр [Текст]/ И.А. Зельцер, О.Н. Крютченко// Материалы Всероссийского симпозиума по эмиссионной электронике, 17–19 сентября 1996. – Рязань, 1996. – C. 188–200.
6. Зельцер, И.А. Метод дифракционной рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для исследования структуры поверхности и приповерхностных областей полупроводниковых кристаллов [Текст]/ И.А. Зельцер, М.В. Ковальчук, Р.С. Сеничкина//Материалы VII Междунар. конф. по микроэлектронике, 16–18 октября 1990 г. – Т. 1. –Минск, 1990. – С. 285–286.
7. Зельцер, И.А. Трехкристальная рентгеновская дифрактометрия в исследовании тонких кристаллических слоев [Текст]/ И.А. Зельцер [и др.]// Электронная промышленность. – 1982. – Вып. 10–11. – С. 63–67.
8. Ковальчук, М.В. Дифракционный вакуумный рентгенофотоэлектронный спектрометр [Текст]/ М.В. Ковальчук [и др.]// Приборы и техника эксперимента. – 1987. – Т. 3. –С. 191–195.
9. Ковальчук, М.В. Новый метод энергодисперсионного измерения фотоэлектронной эмиссии, возбужденной стоячей рентгеновской волной [Текст]/ М.В. Ковальчук, А.С. Семилетов// Физика твердого тела. – 1986. – Т. 28. – №. 2. – С. 558–562.
10. Ковальчук, М.В. Рентгеновские стоячие волны – новый метод исследования структуры кристаллов [Текст]/ М.В. Ковальчук, В.Г. Кон// Успехи физических наук. –1986. – Т. 149. – Вып. 1. – С. 69–103.
11. Устройство для исследования совершенства структуры монокристаллических слоев [Текст]: а. с. № 1226210/ А.Г. Денисов, И.А. Зельцер, Р.С. Сеничкина, М.В. Ковальчук, Ю.Н. Шилин; № 3792952, заявл.; приоритет от 21.09.84; зарегистр. 22.12.85.
12. Устройство для исследования совершенства структуры монокристаллических слоев [Текст]: а. с. № 1396023/ А.Г. Денисов, И.А. Зельцер, А.Г. Коряков, Р.С. Сеничкина; № 3984694, заявл.; приоритет от 04.11.85; зарегистр. 15.01.88.
13. Hertel, N. A new method of measuring electron emission from monocrystals under Xray diffraction conditions [Text]/ N. Hertel [et al.]// Phys. Lett. A. – 1980. – Vol. 75. – N. 6. – P. 501–502.
14. Kikuta, S. Double – Crystal Vacuum X – Ray Diffractometer [Text]/ S. Kikuta [et al.]// Rev. Scient. Instrum. – 1977. – Vol. 48. – N 12. – P. 1576–1580.