2012-№1(34) Статья 15

Зельцер И.А., Моос Е.Н.

Аппаратурные и методические аспекты структурно-чувствительной спектроскопии поверхности конденсированных сред и наноструктур с помощью стоячих рентгеновских волн (часть 2). C.145-158

УДК 592:539.2:573.533.2

 

Рассмотрены современные проблемы развития структурно чувствительной диагностики поверхности твердых тел под действием рентгеновского зонда в режиме стоячих волн, дан обзорный анализ базовых идей, лежащих в основе этого метода, описана техника стоячих рентгеновских волн, в том числе дифракционный рентгеновский фотоэлектронный спектрометр, представлены новые методики исследования полупроводниковых состояний, включая аспекты предпороговых возбуждений, сопровождающихся электронной эмиссией под действием непрерывного резонансного комбинационного рассеяния.

структурно-чувствительная спектроскопия, стоячие рентгеновские волны, ион, электрон, вакуум, эмиссия, атомные частицы, рентгеновская дифрактометрия, синхротронный источник, оже-электроны.

 

Библиография:

1. Александров, П.А. Установка для исследования внешнего фотоэффекта при дифракции рентгеновских лучей [Текст] / П.А. Александров [и др.] // Приборы и техника эксперимента. – 1986. – № 1. – С. 198–201.

2. Гравшин, Ю.М. Дифракционный рентгеновский фотоэлектронный спектрометр [Текст] / Ю.М. Гравшин [и др.] // Электронная промышленность. – 1989. – Вып. 4. – С. 23–25.

3. Гравшин, Ю.М. Рентгеновский автоматизированный пьезогониометр, управля-емый ЭВМ [Текст] / Ю.М. Гравшин [и др.] // Электронная промышленность. – 1989. – Вып. 4. – С. 25–27.

4. Зашквара, В.В. Электронно-оптические свойства электростатического сфери-ческого зеркала и систем на его основе [Текст] / В.В. Зашквара, Л.С. Юрчак, А.Ф. Бы-линкин // Журнал технической физики. – 1988. –Т. 58.– Вып. 10. – С. 2010–2020.

5. Зельцер, И.А. Дифракционный рентгеновский фотоэлектронный спектрометр [Текст] / И.А. Зельцер, О.Н. Крютченко // Материалы Всероссийского симпозиума по эмиссионной электронике, 17–19 сентября 1996. – Рязань, 1996. – C. 188–200.

6. Зельцер, И.А. Метод дифракционной рентгеновской фотоэлектронной спек-троскопии для исследования структуры поверхности и приповерхностных областей полупроводниковых кристаллов [Текст] / И.А. Зельцер, М.В. Ковальчук, Р.С. Сеничкина // Материалы VII Междунар. конф. по микроэлектронике, 16–18 октября 1990 г. – Т. 1. – Минск, 1990. – С. 285–286.

7. Зельцер, И.А. Новые возможности нанодиагностики структуры поверхности

с помощью стоячих рентгеновских волн в условиях непрерывного резонансного комби-национного рассеяния рентгеновского излучения [Текст] / И.А. Зельцер, С.А. Кукушкин, Е.Н. Моос // Письма в ЖТФ. – 2008. – Т. 34. – Вып. 13. – С. 56–61.

8. Зельцер, И.А. Трехкристальная рентгеновская дифрактометрия в исследовании тонких кристаллических слоев [Текст] / И.А. Зельцер, Р.М. Имамов, М.В. Ковальчук, Р.С. Сеничкина // Электронная промышленность. – 1982. – Вып. 10–11. – С. 63–67.

9. Зельцер, И.А. Ионная и электронная компонента эмиссии под действием стоя-чих рентгеновских волн [Текст] / И.А. Зельцер, А.С. Карабанов, Е.Н. Моос // Известия академии наук. Серия физическая. – 2004. – Т. 68, № 3. – С. 408–412.

10. Ковальчук М.В. Органические наноматериалы, наноструктуры и нанодиагно-стика [Текст] // Вестник РАН. – 2003. – Т. 73, № 5. – С. 405–415.

11. Ковальчук, М.В. Дифракционный вакуумный рентгенофотоэлектронный спектрометр [Текст] / М.В. Ковальчук [и др.] // Приборы и техника эксперимента. – 1987. – Т. 3. – С. 191–195.

12. Ковальчук, М.В. Новый метод энергодисперсионного измерения фотоэлек-тронной эмиссии, возбужденной стоячей рентгеновской волной [Текст] / М.В. Коваль-чук, А.С. Семилетов // Физика твердого тела. – 1986. – Т. 28, №. 2. – С. 558–562.

13. Ковальчук, М.В. Рентгеновские стоячие волны – новый метод исследования структуры кристаллов [Текст] / М.В. Ковальчук, В.Г. Кон // Успехи физических наук. – 1986. – Т. 149. – Вып. 1. – С. 69–103.

14. Устройство для исследования совершенства структуры монокристаллических слоев [Текст]: авт. свид. 1226210 СССР: МПК G01N 23/20 / А.Г. Денисов, И.А. Зельцер, Р.С. Сеничкина, М.В. Ковальчук, Ю.Н. Шилин; № 3792952, заявл. 21.09.84; опубл. 22.12.85.

15. Устройство для исследования совершенства структуры монокристаллических слоев [Текст]: авт. свид. 1396023 СССР: МПК G01N 23/20 / А.Г. Денисов, И.А. Зельцер, А.Г. Коряков, Р.С. Сеничкина; № 3984694, заявл. 04.11.85; опубл.15.01.88.

16. Устройство для исследования структуры кристаллических слоев [Текст]: пат. 2370758 Рос. Федерация: МПК G01N 23/22 / И.А. Зельцер, С.А. Кукушкин, Е.Н. Моос; заявитель и патентообладатель Санкт-Петерб. акад. управления и экономики. – № 2007122222/28, заявл. 13.06.07; опубл. 20.10.09.

17. Устройство для исследования структуры монокристаллических слоев [Текст]: пат. 2370757 Рос. Федерация: МПК G01N 23/22 / И.А. Зельцер, С.А. Кукушкин, Е.Н. Моос; заявитель и патентообладатель Санкт-Петерб. акад. управления и экономики. – № 2007117455/28, заявл. 10.05.07; опубл. 20.10.09.

18. Hertel, N. A new method of measuring electron emission from monocrystals under X-ray diffraction conditions [Text] / N. Hertel [et al.] // Phys. Lett. A. – 1980. – Vol. 75. – N. 6. –

P. 501–502.

19. Kikuta, S. Double – Crystal Vacuum X – Ray Diffractometer [Text] / S. Kikuta [et al.] // Rev. Scient. Instrum. – 1977. – Vol. 48. – N 12. – P. 1576–1580.