2014-№4(45) Статья 14

И.А. Афиногенов, И.А. Зельцер, Е.Б. Трунин

Исследование влияния элементно-химического состава и морфологических особенностей поверхности контактных покрытий на электрическое сопротивление и ресурс работы мэмс-коммутаторов. С. 149-171.

УДК 621.318.5:681.3

Методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, атомно-силовой, растровой электронной и оптической микроскопии исследованы элементно-химический состав и морфология поверхности контактных покрытий МЭМС-коммутаторов. Рассмотрено влияние различных типов примесей и приведены количественные характеристики их содержания на поверхности. Показано, что примеси меди и алюминия, выступы, поры на поверхности контактов приводят к повышению электрического сопротивления и понижению ресурса прибора.
Установлено, что элементно-химический состав и морфология поверхности определяют величину и стабильность электрического сопротивления и, как следствие, коммутационные возможности и работоспособность МЭМС-коммутатора.

микроэлектромеханическая система (МЭМС), коммутатор, элементно-химический состав, морфология, контактное покрытие, электрическое сопротивление, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС), атомно-силовая микроскопия (АСМ), растровая электронная микроскопия (РЭМ), поверхностные загрязнения

Библиография:

1. Афиногенов, И.А. Коммутационная техника на основе технологий МСТ [Текст] / И.А. Афиногенов, А.В. Конькин, А.В. Орлов, А.В. Кустова // Магнитоуправляемые контакты (герконы) и изделия на их основе (Reed Switches and Products on Basis Thereof): сб. тр. 3-й Междунар. науч.-практ. конф., 27–30 сентября 2011 г. (Proceedings of the 3rd International Science and Practical Conference, 27–30 Sept. 2011) / под ред. С.М. Карабанова; ОАО «РЗМКП». – Рязань, 2011. – С. 126–131.
2. Афиногенов, И.А. Исследование факторов, определяющих элементно-химический состав и морфологические особенности контактных покрытий МЭМС-коммутаторов [Текст] / И.А. Афиногенов, И.А. Зельцер, Е.Б. Трунин // Вестник Рязанского государственного университета имени С.А. Есенина. – 2014. – № 3/44. – С. 114–139.
3. Зельцер, И.А. Технологические артефакты на стадии герметизации магнитоуправляемых контактов [Текст] / И.А. Зельцер, Р.А. Некрасов // Магнитоуправляемые контакты (герконы) и изделия на их основе (Reed Switches and Products on Basis Thereof): сб. тр. 1-й Междунар. науч.-практ. конф., октября 2005 г. (Proceedings of the 1st International Science and Practical Conference, 11–14 Oct. 2005 / под ред. С.М. Карабанова. – Рязань: Поверенный, 2006. – С. 56–65.
4. Зельцер, И.А. Влияние технологической среды на пористость электролитических покрытий герконов [Текст] / И.А. Зельцер, Е.Б. Трунин, Е.Н. Моос // Магнитоуправляемые контакты (герконы) и изделия на их основе (Reed Switches and Products on Basis Thereof): сб. тр. 1-й Междунар. науч.-практ. конф., 11–14 октября 2005 г. (Proceedings of the 1st International Science and Practical Conference, 11–14 Oct. 2005 / под ред. С.М. Карабанова. – Рязань: Поверенный, 2006. – С. 56–65.
5. Карабанов, С.М. Магнитоуправляемые герметизированные контакты (герконы) и изделия на их основе [Текст] / С.М. Карабанов, Р.М. Майзельс, В.Н. Шоффа. – М.: Интеллект, 2011. – 408 с.
6. Arushanov, K.A. New technology of ion-plasma modification of the contact surfaces of reed switches in oscillatory discharge [Text] / I.A. Zeltser, S.М. Karabanov, R.М. Maizels, Е.N. Moos // Journal of Physics: Conference Series. – 2012. – Vol. 345. – N 01-2003. – P. 1–28.
7. Arushanov, K.A. Ion-Induced Surface Modification of Magnetically Operated Contacts [Text] / K.A. Arushanov, I.A. Zeltser, S.М. Karabanov, R.М. Maizels, Е.N. Moos, A. Tolstoguzov // Coatings. – 2012. – N 2. – Р. 8–44.
8. Karabanov, S.М. Creation of Principally New Generation of Switching Technique Elements (Reed Switches) with Nanostructured Contact Surfaces [Text] / S.М. Karabanov, I.А. Zeltser, R.M. Maizels, E.N. Moos, К.А. Arushanov // Journal of Physics: Conference Series. – 2011. – Vol. 291. – N 01-2020. – P. 1–17.