2014-№3(44) Статья 12

И.А. Афиногенов, И.А. Зельцер, Е.Б. Трунин

Исследование факторов, определяющих элементно-химический состав и морфологические особенности контактных покрытий мэмс-коммутаторов. С. 114-139.

УДК 621.318.5:681.3

Методом рентгеноспектрального микроанализа исследован элементно-химический состав и морфология поверхности контактных покрытий МЭМС-коммутаторов. Использованы методики локализации примесей по глубине, изучены технологические среды, предложена математическая модель и установлена связь пористости гальванопокрытий с концентрацией микрочастиц. Рассмотрено влияние различных типов примесей и приведены количественные характеристики их содержания на поверхности. Показано, что примеси меди и алюминия на поверхности контактов приводят к повышению электрического сопротивления и понижению ресурса прибора. Установлено, что элементно-химический состав и морфология поверхности определяют величину и стабильность электрического сопротивления и, как следствие, коммутационные возможности и работоспособность МЭМС-коммутатора.

микроэлектромеханическая система (МЭМС), коммутатор, элементно-химический состав, морфология, контактное покрытие, электрическое сопротивление, рентгено-спектральный микроанализ (РСМА), пора, поверхностные загрязнения

Библиография:

1. Абраменко, Ю.М. Требования к анализу и контролю технологических сред при производстве ИЭТ [Текст] / Ю.М. Абраменко, В.С. Банников, С.М. Безручко, Г.П. Бенинг, Б.С. Борисов, С.В. Кузьмин // Электронная промышленность. – 1986. – № 7. – С. 35–41.
2. Арушанов, К.А. Фрактальность нитридных контактов [Текст] / К.А. Арушанов, И.А. Зельцер, Е.Н. Моос // Вестник Рязанского государственного университета имени С.А. Есенина. – 2013. – № 1/38. – С. 148–155.
3. Афиногенов, И.А. Коммутационная техника на основе технологий МСТ [Текст] / И.А. Афиногенов, А.В. Конькин, А.В. Орлов, А.В. Кустова // Магнитоуправляемые кон-такты (герконы) и изделия на их основе (Reed Switches and Products on Basis Thereof): сб. тр. 3-й Междунар. науч.-практ. конф., 27–30 сентября 2011 г. (Proceedings of the 3rd In-ternational Science and Practical Conference, 27.09–30.09.2011) / под ред. С.М. Карабано-ва / ОАО «РЗМКП». – Рязань, 2011. – С. 126–131.
4. Банников, В.С. Приборы контроля содержания частиц в жидкостях, применяемых в производстве ИС [Текст] / В.С. Банников, С.М. Безручко, С.В. Кузьмин, О.В. Степанищев // Электронная промышленность. – 1986. – № 7. – С. 46–50.
5. Гинберг, А.М. Повышение антикоррозионных свойств металлических покрытий [Текст]. – М.: Металлургия, 1984. – 168 с.
6. Гололобов, Г.П., Исследование поверхности магнитоуправляемых контактов методом атомно-силовой микроскопии [Текст] / Г.П. Гололобов, А.С. Арефьев, В.Р. Тре-гулов, И.Г. Уточкин, О.В. Киреева // Вестник Рязанской государственной радиотехниче-ской академии. – 2003. – Вып. 13. – С. 66–69.
7. Груев, И.Д. Электрохимические покрытия изделий радиоэлектронной аппаратуры [Текст] / И.Д. Груев, Н.И. Матвеев, Н.Г. Сергеева. – М.: Радио и связь, 1988. – 304 с.
8. Дьяков, Ю.Н. Современные требования к технологическим средам и химикатам, используемым для микроэлектроники [Текст] / Ю.Н. Дьяков, А.В. Лукичев, Б.В. Тимофеев // Электронная промышленность. – 1986. – № 7. – С. 3–10.
9. Зельцер, И.А. Технологические артефакты на стадии герметизации магнито-управляемых контактов [Текст] / И.А. Зельцер, Р.А. Некрасов // Магнитоуправляемые контакты (герконы) и изделия на их основе (Reed Switches and Products on Basis Thereof): cб. тр. 1-й Междунар. науч.-практ. конф., 11–14 октября 2005 г. (Proceedings of the 1st International Science and Practical Conference. 11.10–14.10.2005) / под ред. С.М. Караба-нова. – Рязань: Поверенный, 2006. – С. 56–65.
10. Карабанов, С.М. Магнитоуправляемые герметизированные контакты (герко-ны) и изделия на их основе [Текст] / С.М. Карабанов, Р.М. Майзельс, В.Н. Шоффа. – М.: Интеллект, 2011. – 408 с.
11. Карабанов, С.М., Опыт использования рутениевого гальванопокрытия в про-изводстве герконов [Текст] / С.М. Карабанов, А.Н. Быков // Электронная промышленность. – 2003. – № 4. – С. 37–42.
12. Коломыц, Э.Г. Эволюция конечных форм роста кристаллов в зависимости от вхождения среды в их состав [Текст] / Э.Г. Коломыц, Н.Н. Шефталь // Acta phys. Acad. Sci. Hungar. – 1973. – Vol. 33, № 3–4. – С. 335–351.
13. Кудрявцев, Н.Т. Электролитические покрытия металлами [Текст]. – М.: Химия, 1979. – 352 с.
14. Мамонтов, Е.А.. Образование пор в начальный период электрокристаллизации меди на индифферентных подложках [Текст] / Е.А. Мамонтов, Л.А. Кубатова, А.П. Воленко // Защита металлов. – 1983. – Т. 19, № 6. – С. 971–974.
15. Поветкин, В.В. Структура электролитических покрытий [Текст] / В.В. Поветкин, И.М. Ковенский. – М.: Металлургия, 1989. – 136 с.
16. Процессы реального кристаллообразования [Текст] / Коллектив авторов. – М.: Наука, 1977. – 235 с.
17. Хольм, Р. Электрические контакты [Текст]. – М.: Иностранная литература, 1961. – 464 с.
18. Arushanov, K.A. New technology of ion-plasma modification of the contact sur-faces of reed switches in oscillatory discharge [Text] / I.A. Zeltser, S.М. Karabanov, R.М. Maizels, Е.N. Moos // Journal of Physics: Conference Series. – 2012. – Vol. 345, № 01-2003. – P. 1–28.
19. Arushanov, K.A. Ion-Induced Surface Modification of Magnetically Operated Contacts [Text] / K.A. Arushanov, I.A. Zeltser, S.М. Karabanov, R.М. Maizels, Е.N. Moos, A. Tolstoguzov // Coatings. – 2012. – № 2. – Р. 8–44.
20. Karabanov, S.М. Creation of Principally New Generation of Switching Technique Elements (Reed Switches) with Nanostructured Contact Surfaces [Text] / S.М. Karabanov, I.А. Zeltser, R.M. Maizels, E.N. Moos, К.А. Arushanov // Journal of Physics: Conference Series. – 2011. – Vol. 291, № 01-2020. – P. 1–17.