2010-№1(26) Статья 12

Зельцер И.А., Моос Е.Н.

Истинно-вторичная электронная эмиссия при брэгговской дифракции рентгеновских лучей в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем. C. 94-105

УДК 592: 539.2: 537.533.2

Проведены теоретико-экспериментальные исследования истинно-вторичной электронной эмиссии при брэгговской дифракции рентгеновских лучей в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем. Продемонстрирована возможность использования истинно вторичных электронов для структурно-чувствительной спектроскопии поверхности конденсированных сред с помощью стоячих рентгеновских волн.

брэгговская дифракция, истинно-вторичные электроны, Оже-электроны, рентгеновские лучи, стоячая волна, фотоэлектроны, эмиссия.

Библиография:

1. Афанасьев, А.М. Внешний фотоэффект при дифракции рентгеновских лучей
в кристалле с нарушенным поверхностным слоем [Текст] / А.М. Афанасьев, В.Г. Кон // Журнал экспериментальной и технической физики. – 1978. – Т. 74, вып. 1. – С. 300–313.

2. Бронштейн, М.М. Вторичная электронная эмиссия [Текст] / М.М. Бронштейн, Б.С. Фрайман. –  М.: Наука, 1969. – 408 с.

3. Гравшин, Ю.М. Дифракционный рентгеновский фотоэлектронный спектрометр [Текст] / Ю.М. Гравшин [и др.] // Электронная промышленность. – 1989. – Вып. 4. – С. 23–25.

4. Зельцер, И.А. Субатомная диагностика квазидвумерных структур в методе стоячих рентгеновских волн [Текст] / И.А. Зельцер, Е.Н. Моос. – Рязань: Интермет, 2010. – Ч. 1. – 233 с.

5. Зельцер, И.А. Трехкристальная рентгеновская дифрактометрия в исследовании тонких кристаллических слоев [Текст] / И.А. Зельцер [и др.] // Электронная промышленность. – 1982. – Вып. 10–11. – С. 63–67.

6. Ковалев, В.П. Вторичные электроны [Текст]. –  М.: Энергоиздат, 1987. – 175 с.

7. Ковальчук, М.В. Рентгеновские стоячие волны – новый метод исследования структуры кристаллов [Текст] / М.В. Ковальчук, В.Г. Кон // Успехи физических наук. – 1986. – Т. 149, вып. 1. – С. 69–103.

8. Ковальчук, М.В. Органические наноматериалы, наноструктуры и нанодиагностика [Текст] // Вестник РАН. – 2003. – Т. 73, № 5. – С. 405–415.

9. Ковальчук, М.В. Дифракционный вакуумный рентгенофотоэлектронный спектрометр [Текст] / М.В. Ковальчук [и др.] // Приборы и техника эксперимента. – 1987. –
Т. 3. – С. 191–195.

10. Ковальчук, М.В. Вакуумная приставка для исследования структуры поверхностных слоев полупроводников методом стоячих рентгеновских волн в случае фотоэлектронной эмиссии [Текст] / М.В. Ковальчук, Ю.Н. Шилин // Электронная техника. – Серия 6: Материалы. – 1985. – Вып. 3/202. – С. 38–41.

11. Кон, В.Г. Программа расчета параметров рассеяния, используемых в методе стоячих рентгеновских волн [Текст] // Кристаллография. – 2006. – Т. 51, № 6. – С. 1001–1005.

12. Sternglass, E.G. Theory of secondary electron emission under electron bombardment [Text] // Phys. Rev. – 1957. – Vol. 108. – P. 1–9