2012-№1(34) Статья 16

Гудзев В.В., Литвинов В.Г., Зубков М.В.

Автоматизированный измерительно-аналитический комплекс релаксационной спектроскопии глубоких уровней. C.158- 167

УДК 621.315.592

Рассмотрены физические основы релаксационной спектроскопии глубоких уровней (РСГУ) и представлено описание разработанного автоматизированного измерительно-аналитического комплекса РСГУ для экспресс-контроля параметров глубоких центров в полупроводниковых барьерных структурах.

глубокие уровни, глубокие центры, релаксация емкости, релаксация тока.

Библиография:

1. Вывенко, О.Ф. Оптимизация корреляционной процедуры в методах термостимулированной релаксационной спектроскопии полупроводников [Текст] / О.Ф. Вывенко, А.А. Истратов // Физика и техника полупроводников. – 1992. – Т. 26, № 10. – C. 1693.

2. Денисов, А.А. Релаксационная спектроскопия глубоких уровней. Обзоры по электронной технике [Текст] / А.А. Денисов, В.Н. Лактюшкин, Ю.Г. Садофьев // ЦНИИ «Электроника». – М., 1985. – № 15/144. – 52 с. – (Серия «Технология, организация производства и оборудование»).

3. Лабутин, А.В. Автоматизированный измерительно-аналитический комплекс токовой релаксационной спектроскопии глубоких уровней [Текст] / А.В. Лабутин, В.Г. Литвинов, В.И. Козловский, В.В. Гудзев, М.В. Зубков // Информационный листок о НТР / Рязанский ЦНТИ. – Рязань, 2002. – № 61-081-02. – 4 с.