2012-№2(35) Статья 13

В.В. Трегулов, В.А. Степанов, Г.Н. Скопцова

Исследование с помощью атомно–силовой микроскопии поверхности тонких пленок CDS, изготовленных методом гидрохимического осаждения. C.154–161

УДК 621.383.51

Приведены результаты исследования поверхности тонких пленок CdS с помощью атомно–силовой микроскопии, сформированных методом гидрохимического осаждения. По результатам сканирования построены гистограммы распределения размеров зерен по поверхности в плоскости X–Y. Экспериментальные результаты подтверждают вывод об агрегационном механизме роста пленок CdS при гидрохимическом осаждении.

атомно–силовая микроскопия, гетероструктура, гистограмма, поверхность, сканирующая зондовая микроскопия, сульфид кадмия, тонкие пленки, фотоэлектрический преобразователь, функция распределения.

Библиография

1. Джонсон, Н.Л. Статистика и планирование эксперимента в технике и науке. Методы обработки данных [Текст]: пер. с англ./ Н.Л. Джонсон, Ф.С. Лион. – М.: Мир, 1980. – 610 с.

2. Курносов, А.И. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных схем [Текст]/ А.И. Курносов, В.В. Юдин. – М.: Высшая школа, 1986. – 368 с.

3. Маскаева, Л.Н. Состав и субмикронная структура тонких пленок пересыщенных твердых растворов Zn_xPb_1–xS [Текст]/ Л.Н. Маскаева [и др.]// Письма в ЖТФ. – 2008. – Т. 34. – Вып. 11. – С. 39–45.

4. Сканирующий зондовый микроскоп NanoEducator [Текст]: руководство пользователя/ ЗАО «Нанотехнология – МДТ». – М., 2006. – 135 с.

5. Трегулов, В.В. Исследование фотоэлектрического преобразователя солнечной энергии на основе гетероструктуры CdS/Si(p) [Текст]// Вестник Тамбовского государственного технического университета. – 2010. – Т. 16. – № 4. – С. 892–896.

6. Чопра, К. Тонкопленочные солнечные элементы [Текст]: пер. с англ./ К. Чопра, С. Дас. – М.: Мир, 1986. – 435 с.

7. Юсупов, Р.А. Синтез металлосульфидных имплантантов в водных растворах [Текст]/ Р.А. Юсупов, О.В. Михайлов// Химия и компьютерное моделирование. Бутлеровские сообщения. – 2004. – Т. 5. – № 1. – С. 22–43.