2015-№4(49) Статья 15

И. А. Зельцер

Технологические артефакты при производстве магнитоуправляемых герметизированных контактов (герконов). C. 173-189.

УДК 53.06

Методами растровой электронной микроскопии и рентгеноспектрального микроанализа исследованы морфология и элементный состав контактных поверхностей переключающих и замыкающих герконов. Показано, что некоторые виды брака обусловлены аномально высокой концентрацией химически активных элементов в стекле и на поверхности контактных покрытий и их активацией при заварке геркона, стимулирующей образование паразитных покрытий и кристаллов хлоридов калия и натрия на поверхности контактов.

магнитоуправляемый герметизированный контакт, геркон, микроэлектромеханическая система, МЭМС, контактное покрытие, растровая электронная микроскопия, рентгеноспектральный микроанализ, рутений

Библиография:

1. Афиногенов, И.А. Исследование влияния элементно-химического состава и морфологических особенностей поверхности контактных покрытий на электрическое сопротивление и ресурс работы МЭМС-коммутаторов [Текст] / И.А. Афиногенов, И.А. Зельцер, Е.Б. Трунин // Вестник Рязанского государственного университета имени С.А. Есенина. — 2014. — № 4/45. — С. 149–171.
2. Афиногенов, И.А. Исследование факторов, определяющих элементно-химический состав и морфологические особенности контактных покрытий МЭМС-коммутаторов [Текст] / И.А. Афиногенов, И.А. Зельцер, Е.Б. Трунин // Вестник Рязанского государственного университета имени С.А. Есенина. — 2014. — № 3/44. — С. 114–139.
3. Зельцер, И.А. Влияние технологической среды на пористость электролитических покрытий герконов [Текст] / И.А. Зельцер, Е.Б. Трунин, Е.Н. Моос // Магнитоуправляемые контакты (герконы) и изделия на их основе [Reed Switches and Products on Basis Thereof]: сб. тр. первой Междунар. науч.-практ. конф., 11–14 октября 2005 г. [Proceedings of the 1st International Science and Practical Conference, 11.10–14.10.2005] / под ред. С.М. Карабанова. — Рязань: Поверенный, 2006. — С. 56–65.
4. Зельцер, И.А. Новые контактные покрытия герконов на основе нитридов железа и никеля [Текст] / И.А. Зельцер, Р.М. Майзельс, Е.Н. Моос, К.А. Арушанов // Электронная промышленность. — 2013. — № 3. — С. 7–14.
5. Зельцер, И.А. Технологические артефакты на стадии герметизации магнитоуправляемых контактов [Текст] / И.А. Зельцер, Р.А. Некрасов // Магнитоуправляемые контакты (герконы) и изделия на их основе [Reed Switches and Products on Basis Thereof]: сб. тр. первой Междун. науч.-практ. конф., 11–14 октября 2005 г. [Proceedings of the 1st International Science and Practical Conference. 11–14 октября 2005] / под ред. С.М. Карабанова. — Рязань: Поверенный, 2006. — С. 56–65.
6. Карабанов, С.М. Магнитоуправляемые герметизированные контакты (герконы) и изделия на их основе [Текст] / С.М. Карабанов, Р.М. Майзельс, В.Н. Шоффа. — М.: Интеллект, 2011. — 408 с.
7. Карабанов, С.М. Электролитические покрытия магнитоуправляемых герметизированных контактов (герконов) [Текст] / С.М. Карабанов, О.Г. Локштанова; под ред. С.М. Карабанова. — Рязань, 2011. — 246 с.
8. Толстогузов, А.Б. Ионно-плазменная обработка поверхности контактов герконов: исследования методом масс-спектрометрии вторичных ионов [Текст] / А.Б. Толстогузов, М.Н. Дроздов, И.А. Зельцер, К.А. Арушанов, О.М. и Н.Д. Теодору // Масс-спектрометрия. — 2013. — № 3. — С. 167–174.
9. Afinogenov, I.A. Characterization on Contacting Surfaces of MEMS Electrostatic Switches by SEM, EDXA, and XPS / I.A. Afinogenov, I.A. Zeltser, E.B. Trunin, A. Tolstoguzov // Advances in Materials Science and Engineering. Vol. 2015, Article ID 679313, 6 pages, 2015. doi:10.1155/2015/679313.
10. Arushanov, K.A. Ion-Induced Surface Modification of Magnetically Operated Con-tacts [Text] / K.A. Arushanov, I.A. Zeltser, S.М. Karabanov, R.М. Maizels, Е.N. Moos, A. Tol-stoguzov // Coatings. — 2012. — № 2. — Р. 8–44.
11. Arushanov, K.A. New technology of ion-plasma modification of the contact surfaces of reed switches in oscillatory discharge [Text] / I.A. Zeltser, S.М. Karabanov, R.М. Maizels, Е.N. Moos // Journal of Physics: Conference Series. — 2012. — Vol. 345, N 01-2003. — P. 1–28.
12. Karabanov, S.М. Creation of Principally New Generation of Switching Technique Elements (Reed Switches) with Nanostructured Contact Surfaces [Text] / S.М. Karabanov, I.А. Zeltser, R.M. Maizels, E.N. Moos, К.А. Arushanov // Journal of Physics: Conference Series. — 2011. — Vol. 291, N 01-2020. – P. 1–17.